半導體含砷廢（fèi）氣處理方法

半導體工業是現代工業的重要組成（chéng）部分，其生產過（guò）程中會產生大量的廢氣。其（qí）中，含砷廢氣是一種難以處理的有毒廢氣，因其含有高濃度（dù）的砷元素，對人體（tǐ）和環境造成的危害性（xìng）非常大。因此，半導體含砷廢氣的治理一直是工（gōng）業領域的難題。

半導體含砷廢氣（qì）的成分

半導體含砷廢氣（qì）的主（zhǔ）要成（chéng）分是砷化氫（sH3）和三甲基砷（TM）。其中，砷化氫是一種無色、有毒、易燃的氣體，具有極強的損傷作用，能破壞人體（tǐ）細（xì）胞的（de）DN，導致中毒甚死亡；而三甲基砷則是一種有機砷化合物，同樣具有毒性。

半導體含砷廢氣的治理方法

半導體含砷（shēn）廢氣的（de）治理方法主要有物理吸附法、化（huà）學吸附法、吸收法、燃燒法、光解法、等離子體法等（děng）。

1.物理吸附法（fǎ）

物（wù）理吸附法（fǎ）是利用吸（xī）附劑對含砷廢（fèi）氣進行（háng）吸附，將其轉化（huà）為固體或（huò）液體形態，物理吸附法具（jù）有操作（zuò）簡單、設備投資少、運行成本低等優點，但（dàn）其處理（lǐ）效果受（shòu）環境溫度、濕度（dù）等因素的影響，處理後的（de）吸附劑難以回收利用。

2.化學吸附法

化學吸附法是利用化學反應將含砷廢氣中的有害成分吸附在（zài）吸附劑上，以化學吸附法具有處理效（xiào）率高、處理後的吸附劑（jì）易於處理等優點，但（dàn）其成本較高，

3.吸收法

吸收法（fǎ）是利用吸收（shōu）劑對含砷廢氣進行吸收，將其轉化為溶液形態，吸收法具有處理效（xiào）率高、處理後的溶液易於處理等優點，但其運行成本較高，設備投資較大。

4.燃燒法

燃燒法是將含砷廢氣進行燃燒，將有害成分氧化為無害物質，燃燒法具有處理效率高、處理後的廢（fèi）氣易於排放等優點，但其設備投資較大，

5.光解法

光解法是利用光線對含砷廢氣進（jìn）行分解，將其轉化為無害物質，光解法具有處理（lǐ）效率高、操（cāo）作（zuò）簡單等優點，但其處理效果受光線強度、波長等因素的影（yǐng）響，且設（shè）備投資（zī）較大。

6.等離子體法

等離子體（tǐ）法是利用等離子體對含砷廢氣（qì）進行處理，將有（yǒu）害成分轉化為無（wú）害物質，等離子體法具有處理效率高、處理（lǐ）後（hòu）的廢氣易於排放等優點，但（dàn）其（qí）設備投資較大（dà），

綜合來看，不同的半導體含砷（shēn）廢氣治理方法各有優缺點。在（zài）實際應用中，應根據工業生（shēng）產的（de）具體情況和環保要求進行選擇。例如，對於處理量較大（dà）的含砷廢氣，可以選擇（zé）物理吸附法或化（huà）學吸附法；對於處理效果要求較高的含砷（shēn）廢氣，則可以選擇吸收法（fǎ）、燃燒法（fǎ）或等離子體法。

半導（dǎo）體含砷廢氣的治理是一個複雜而重要的問題，需要綜合考慮工業生產的具（jù）體情況、環保要求以及治理（lǐ）方法的優缺點等多個方麵。