光電產品製造（zào）過程中VOCs的排放

今天小編（biān）繼續（xù）為您介紹在光電產品製造行業中，產生廢氣汙染的主要有五類產品的製造過程:半（bàn）導體集成電路、TFT-LCD、LED、印（yìn）製電路板(PCB)、電子終端產品。這幾個也（yě）是天天操天天爱综合廢（fèi）氣處理經常（cháng）麵對的。

①半導體（tǐ）集成電路製造過程中VOCs的排放半導體製造工藝中VOCs主要來源（yuán）於光刻、顯影工序，在這（zhè）些工序中要（yào）用有機溶液(如異丙醇)對晶片表麵進行（háng）清洗（xǐ），其揮（huī）發產生的廢氣是有機廢氣的來源之一（yī）。同時，在光刻過程中使用（yòng）的（de）光（guāng）阻劑(光刻膠（jiāo）)中含盡有（yǒu）易揮發的有機溶劑，如乙酸丁酯等，在晶片處理過程中產生的有機廢氣也要揮發到大術氣中。
   ②TFT-LCD製造過程中VOCs的排放包括（kuò）檢査和測試在內，TFT-LCD的製造生產製工藝可達到100多道工序，生產過程中使用多種化學有機溶劑和特殊氣體，產生的VOCc多量大，組分複雜。TFT液晶麵（miàn）板生產排放VOCs汙染物的工序主要集（jí）中在陣列工程和彩膜（mó）時工程兩大部分。陣列工程中的光刻(塗（tú）膠、曝光和顯影)，以（yǐ）及彩（cǎi）膜工程中的黑（hēi）色（sè）矩BM膜製造、彩色矩陣膜形成(紅、綠（lǜ）、藍，RGB)、保護膜生成、MVA膜（mó）、PS( Photo Spacer)膜生成是產生VOCs的主要產生少量VOCs。TFT-LCD的製造過程（chéng）中產生的VOCs主要是以異丙醇為主，其次依序是丙（bǐng）酮、單甲基醚丙二醇、單甲基醚丙二醇乙酸（suān）酯，這四種成分占了全部VOCs量的90％以上。

③LED電子組件製（zhì）造過程中VOCs的排放LED電子（zǐ）組件生（shēng）產產（chǎn）生的VOCs汙（wū）染物主要（yào）來源於基片處理（lǐ）和光（guāng）刻，LED生產過程（chéng）中產生VOCs的種類主要有三氯（lǜ）乙烯、丙二醇醚酯、異丙醇、丙酮（tóng）、丁酮等。

④印製電路板(PCB)製造過程中VOCs的排放在（zài）單麵、雙麵和多麵（miàn）印製（zhì）電路板（bǎn）製作工藝（yì）中（zhōng），產生的（de）VOCs工藝環節相對較集（jí）中，主要來源（yuán）於（yú）貼膜、烘幹、江、印（yìn）刷等工子，VOCs排放種類主要有甲醛、醇類(乙（yǐ）醇、異丙醇、丁醇、丙醇)、酮類(丁酮)、酯類劑的貯存（cún）過程（chéng）中也會有部分乙酸乙VOCs產生和（hé）排放。

⑤電（diàn）子（zǐ）終端產品製造過程中VOCs的（de）排放在（zài）電子終端產品製造中，VOCs的主要來源包括電路板清洗劑（jì）有機廢氣(使用有機溶劑（jì）型清洗劑)、電路板（bǎn）三防噴漆（qī）廢氣、機売(機箱)噴漆廢氣、機殼注塑廢氣。這些廢氣均（jun1）來（lái）自工位上的局（jú）部（bù）排風係統，特點是排風（fēng）量（liàng）大、濃度低。

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